CCQ-型系列氣(qi)動(dong)超高(gao)真空(kong)(kong)插板(ban)閥(fa)(fa)是用(yong)壓縮(suo)空(kong)(kong)氣(qi)為動(dong)力，通(tong)過(guo)電磁(ci)換(huan)向(xiang)(xiang)閥(fa)(fa)改(gai)變氣(qi)路(lu)方向(xiang)(xiang)，推動(dong)氣(qi)缸活(huo)塞，驅動(dong)閥(fa)(fa)板(ban)作(zuo)上下(xia)運動(dong)，實現閥(fa)(fa)門的(de)(de)開啟或關閉(bi)，從而達(da)到在超高(gao)真空(kong)(kong)系統中接通(tong)或斷氣(qi)流的(de)(de)目的(de)(de)。適(shi)用(yong)的(de)(de)工作(zuo)介質為潔凈的(de)(de)空(kong)(kong)氣(qi)及非腐蝕(shi)性氣(qi)體。
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