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Ｚ系列油擴散(san)噴射(she)真空(kong)泵是(shi)(shi)蒸氣流泵的(de)一種(zhong)，是(shi)(shi)獲得中真空(kong)的(de)主要設備。工(gong)作壓力范圍(wei)為10～6.7×10-2Pa，抽氣速(su)率450～23000L/s，廣泛應用于冶金、化工(gong)、石油、電子等工(gong)業(ye)部(bu)門。