高(gao)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)油(you)擴散泵是用(yong)來獲得高(gao)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)或(huo)超(chao)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)的(de)主要設備。工作壓(ya)力范圍(wei)為10-2-10-5Pa，抽氣速率(lv)范圍(wei)為280～55000L/S，對各種(zhong)氣體(ti)無選擇性，結構簡單，沒有機(ji)械運動部件，操作方便，便于維護。廣泛應用(yong)于電子(zi)、化工、冶(ye)金(jin)、機(ji)械、高(gao)科技等領域。
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